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材料檢測3D成像共聚焦顯微鏡

簡要描述:VT6000材料檢測3D成像共聚焦顯微鏡基于光學共軛共焦原理,用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量,可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

  • 更新時間:2024-07-18
  • 產(chǎn)品型號:VT6100
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 訪  問  量:680

詳細介紹

品牌CHOTEST/中圖儀器產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應用領域能源,電子,電氣,綜合

中圖儀器VT6000材料檢測3D成像共聚焦顯微鏡基于光學共軛共焦原理,用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量,可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

材料檢測3D成像共聚焦顯微鏡

產(chǎn)品功能

1)3D測量功能:設備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能;

2)影像測量功能:設備具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能,可進行長度、角度、半徑等尺寸測量;

3)自動拼接功能:設備具備自動拼接功能,能夠?qū)崿F(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量;

4)數(shù)據(jù)處理功能:設備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析工具功能:設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)批量分析功能:設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能;

7)便捷操作功能:設備配備操縱桿,支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié)、光源亮度調(diào)節(jié)、急停等;

8)光源安全功能:光源設置無人值守下的自動熄燈功能,當檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源,防止光源高亮過熱損壞,并有效延長光源使用壽命;

9)鏡頭安全功能:設備配備壓力傳感器,并在鏡頭處進行了彈簧結(jié)構(gòu)設計,確保當鏡頭碰撞后彈性回縮,進入急停狀態(tài),大幅減小碰撞沖擊力,有效保護鏡頭和掃描軸,消除人為操作的安全風險。

材料檢測3D成像共聚焦顯微鏡


VT6000材料檢測3D成像共聚焦顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細節(jié)更清晰更微細,橫向分辨率更高,能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。


不同應用場景下的3D形貌

主要應用于半導體、光學膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中,其次是對表面粗糙度、面積、體積等參數(shù)的檢測中。

3D形貌圖片:


影像測量功能界面

材料檢測3D成像共聚焦顯微鏡


自設計之初,VT6000便定下了“簡單好用"四字方針的目標。

1)結(jié)構(gòu)簡單:儀器整體由一臺輕量化的設備主機和電腦構(gòu)成,控制單元集成在設備主機之內(nèi),亦可采用筆記本電腦驅(qū)動,實現(xiàn)了“拎著走"的便攜式設計;

2)真彩圖像:配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像,對細節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn);

3)操作便捷:采用全電動化設計,并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換,圖像視窗和分析視窗同界面的設計風格,實現(xiàn)了所見即所得的快速檢測效果;

4)采用自研的電動鼻輪塔臺,并對軟件防撞設置與硬件傳感器防撞設置功能進行了優(yōu)化,確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應對。

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